德國(guó)菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237是一款應(yīng)用廣泛的能量色散型x射線鍍層測(cè)厚及材料分析儀。這款儀器專門是為測(cè)量分析極薄鍍層和超小含量而設(shè)計(jì)，是用于質(zhì)量控制，質(zhì)量檢驗(yàn)和生產(chǎn)監(jiān)控的合適的測(cè)量?jī)x器。典型的應(yīng)用領(lǐng)域有：
1，測(cè)量大規(guī)模生產(chǎn)的電鍍零部件
2，測(cè)量微小區(qū)域上的薄鍍層
3，測(cè)量電子工業(yè)或半導(dǎo)體工業(yè)中的功能性鍍層
4，全自動(dòng)測(cè)量，如測(cè)量印刷線路板
德國(guó)菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237設(shè)計(jì)理念：
FISCHERSCOPE X-RAY
XDLM237設(shè)計(jì)為界面友好的臺(tái)式測(cè)量?jī)x器系列，配備了馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的X/Y工作臺(tái)，當(dāng)保護(hù)門開啟時(shí)，工作臺(tái)會(huì)自動(dòng)移到放置樣品的位置。馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的可編程Z軸升降系統(tǒng)。
高分辨率的彩色視頻攝像頭可方便定位測(cè)量位置。配備了激光點(diǎn)，可以輔助定位并快速對(duì)準(zhǔn)測(cè)量位置。
測(cè)量箱底部的開槽是專為面積大而形狀扁平的樣品所設(shè)計(jì)，由此儀器就可以測(cè)量比測(cè)量箱更長(zhǎng)和更寬的樣品。例如：大型的印制電路板。
帶有放大功能和十字線的集成視頻顯微鏡簡(jiǎn)化了樣品擺放，并且允許測(cè)量點(diǎn)的調(diào)整。
所有的儀器操作，以及測(cè)量數(shù)據(jù)的計(jì)算和測(cè)量數(shù)據(jù)報(bào)表的清晰顯示，都可以通過(guò)功能強(qiáng)大而界面友好的WinFTM®軟件在電腦上完成。
XDLM237型鍍層測(cè)厚及材料分析儀完全滿足DIN ISO 3497標(biāo)準(zhǔn)和ASTM B 568標(biāo)準(zhǔn)，型式許可符合德國(guó)“Deutsche R?ntgenverordnung-R?V”法規(guī)規(guī)定。
德國(guó)菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237技術(shù)參數(shù)規(guī)格簡(jiǎn)介：
通用規(guī)格
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設(shè)計(jì)用途
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能量色散X射線熒光鍍層測(cè)厚及材料分析儀 (EDXRF) 用來(lái)測(cè)量薄鍍層和微小結(jié)構(gòu)， 分析合金和微量組分。
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元素范圍
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從元素 氯(17) 到 鈾(92) 配有可選的WinFTM® BASIC軟件時(shí)，多可同時(shí)測(cè)定24種元素
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形式設(shè)計(jì)
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臺(tái)式儀器，測(cè)量門向上開啟
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測(cè)量方向
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從上到下
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德國(guó)菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237X射線源
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X射線管
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帶鈹窗口的微聚焦鎢管
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高壓
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三檔： 30 kV，40 kV，50 kV
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孔徑（準(zhǔn)直器）
標(biāo)準(zhǔn)（523-440）
可選（523-366）
可選（524-061）
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4個(gè)可切換準(zhǔn)直器
[mm]: ?0.1, ?0.2,
0.05x0.05, 0.2x0.03 [mm]: ?0.1, ?0.2, ?0.3, 0.3x0.05 [mm]: ?0.1, ?0.2, 0.3 x
0.05, 0.05x0,05 其他可按要求定制
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基本濾片
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3種可切換的基本濾片（標(biāo)準(zhǔn)配置：鎳，鋁，無(wú)）
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測(cè)量點(diǎn)
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取決于測(cè)量距離及使用的準(zhǔn)直器大小， 實(shí)際的測(cè)量點(diǎn)大小與視頻窗口中顯示的一致 小的測(cè)量點(diǎn)大小: 光圈約? 0.1
mm（選用準(zhǔn)直器0.05x0.05 mm時(shí)）
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X射線探測(cè)
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X射線接收器
測(cè)量距離
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比例接收器
0 ~ 80 mm，使用保護(hù)的DCM測(cè)量距離補(bǔ)償法
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視頻系統(tǒng)
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視頻系統(tǒng)
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高分辨率CCD彩色攝像頭，沿著初級(jí)X射線光束方向觀察測(cè)量位置 手動(dòng)聚焦，對(duì)被測(cè)位置進(jìn)行監(jiān)控 十字線（帶有經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的刻度和測(cè)量點(diǎn)尺寸） 可調(diào)節(jié)亮度的LED照明，激光光點(diǎn)用于定位樣品
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放大倍數(shù)
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40x - 160x
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電氣參數(shù)
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電源要求
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交流 220 V 50 Hz
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功率
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大 120 W (不包括計(jì)算機(jī))
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保護(hù)等級(jí)
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IP40
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尺寸規(guī)格
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外部尺寸
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寬x深x高[mm]：570 x 760 x 650
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內(nèi)部測(cè)量室尺寸
重量
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寬x深x高[mm]：460 x 495 x 146
120kg
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工作臺(tái)
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設(shè)計(jì)
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馬達(dá)驅(qū)動(dòng)可編程X/Y平臺(tái)
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大移動(dòng)范圍 255 × 235 mm
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X/Y平臺(tái)移動(dòng)速度 ≤ 80 mm/s
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X/Y平臺(tái)移動(dòng)重復(fù)精度 ≤ 0.01 mm, 單向
可用樣品放置區(qū)域 300 × 350 mm
Z軸 可編程運(yùn)行
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Z軸移動(dòng)范圍 140 mm
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樣品大重量 5 kg，降低精度可達(dá)20kg
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樣品大高度 140 mm
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環(huán)境要求
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使用時(shí)溫度
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10°C – 40°C
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存儲(chǔ)或運(yùn)輸溫度
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0°C – 50°C
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空氣相對(duì)濕度
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≤ 95 %, 無(wú)結(jié)露
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計(jì)算單元
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計(jì)算機(jī)
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帶擴(kuò)展卡的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)
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軟件
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標(biāo)準(zhǔn)： WinFTM® V.6 LIGHT 可選： WinFTM® V.6 BASIC，PDM®，SUPER
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執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
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CE合格標(biāo)準(zhǔn)
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EN 61010
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X射線標(biāo)準(zhǔn)
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DIN ISO 3497和 ASTM B 568
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型式批準(zhǔn)
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**而保護(hù)**的測(cè)量?jī)x器， 型式許可符合德國(guó)“Deutsche R?ntgenverordnung-R?V”法規(guī)規(guī)定。
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德國(guó)菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237訂貨號(hào)
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FISCHERSCOPE
X-RAY XDLM 237
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604-347
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如有特殊要求，可與FISCHER磋商，定制特殊的XDLM型號(hào)。
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